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FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
一.概述：overview
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置專用的高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制，滿足半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求，的測控軟件實(shí)時繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
Adopt four probe double electric
combination test method to test square resistance and resistivity system .
Combined with high temperature box for special high temperature four-point
probe test probe jig with PC software for data processing and measurement
control. Meet the test requirements of
the co
FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)二.適用行業(yè)：Applicable industry:
廣泛用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
Is widely used in: Corporate. colleges and
universities and scientific research departments of co
雙電測四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測量。設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
The double electric four-point probe is
used to measure the four probes in a straight line.The design co
FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
三.型號及技術(shù)參數(shù)Models and technical parameters：
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規(guī)格型號Models |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
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1.方塊電阻范圍sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-6～2×105Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
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2.電阻率范圍resistivity range |
10-6～2×106Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
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3.測試電流范圍test current range |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
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4.電流精度current accuracy |
±0.1%讀數(shù) |
±0.1讀數(shù) |
±2% |
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5.電阻精度resistance accuracy |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
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PC軟件界面 PC software interface |
顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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7.測試方式test mode |
雙電測量Double electrical measurement |
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8.四探針儀工作電源working power |
AC 220V±10%.50Hz <30W
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9.整機(jī)不確定性誤差/ machine uncertain errors |
≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 standard samples） |
≤15% |
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zui高溫度(選購)Highest temperature (choose and buy) |
常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
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氣氛保護(hù)（氣體客戶自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) |
常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態(tài)的ink" target="_blank">單原子分子
The
usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon
(Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous mo |
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溫度精度 Temperature precision |
沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 co |
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升溫速度： rate of temperature increase |
常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘
a |
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高溫材料 High temperature material |
采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder |
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PC軟件 PC software |
專用測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！One set Special test PC software. USB communication interface.
software interface synchro |
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電材料 Electrode materials |
鎢電或鉬電 Tungsten electrode or molybdenum electrode |
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探針間距 The probe spacing |
直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter |
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標(biāo)配外（選購）：
Except
standard co |
電腦和打印機(jī)1套；2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs |
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配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀電阻、電阻率、電導(dǎo)率測量
