手持式四探針方阻測試儀
一.概述Overview:
參照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》,采集高集成電路恒流源系統(tǒng),提供便捷的操作模式,便攜式外型結構,可充電式電源系統(tǒng),超長待機,上下限設定.Reference Silicon
resistivity measurement internatio
手持式四探針方阻測試儀
二.功能介紹Function introduction:
便攜式外型結構更加適用于車間生產(chǎn)、品管抽檢,外出攜帶測量等要求快速便捷測量的場所;也適用于中小型半導體材料生產(chǎn)企業(yè).具有高.
The portable external structure is more
suitable for the place wher
手持式四探針方阻測試儀
三技術參數(shù)Technical Parameters:
規(guī)格型號Specification model |
FT-391A |
FT-391B |
FT-391C |
1.方塊電阻范圍sheet resistance |
10~2.00×102Ω/□ |
10~2.00×103Ω/□ |
10~2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍resistivity |
1~2×103Ω-cm |
1~2×104Ω-cm |
1~2×105Ω-cm |
3.分辨率resolution |
0.01Ω |
0.01Ω |
0.01Ω |
4.顯示讀數(shù)display |
液晶顯示:電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. |
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5.測試方式test mode |
單電測量single electrical measurement |
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6.工作電源working power |
5V.1000mA |
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7. 誤差errors |
整機不確定性Machine uncertain≤4.5%(標準樣片結果standard samples) |
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8.選配choose to buy |
選配1.方形探頭; 選配2.直線形探頭;探針間距;選配3:探針間距1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 選配4:探針材質(zhì):碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針square probe; 2. linear probe; 3.Optio |