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高勻膠機的方法

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  • 更新日期:2017-09-27 10:19
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詳細介紹

高勻膠機型號:SC200-SE

主要性能指標: 
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)  
旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒  
轉動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm  
工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)  
旋涂作業均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量) 


產品特性優點: 
新的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。  
7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。  
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。  
標準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。 
采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。  
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。  
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。  
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。 


產品外型尺寸: 
     613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)  

 
 
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