熱式氣體質量流量控制器 型號；DP-S48 32/HMT 編號 項目 S48 32/HMT 1 流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(1,2,3,5,10,20,30)L/min 2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 安裝方向 任意

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編號	項目	S48 32/HMT
1	流量規格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止狀態	常閉
4	安裝方向	任意
5	流量控制范圍	2%-
6	流量測量范圍	(0-100)%
7	零點溫漂	0.6%F.S.(15~35℃)
8	響應時間	2s(T98,設定值的±2%F.S.)
9	工作環境溫度	5~50℃
10	精度保證溫度	15~35℃
11	精度	±1.0%F.S
12	線性	±0.5%F.S
13	重復精度	±0.2%F.S
14	工作壓差范圍	~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15	耐壓	3MPa
16	漏率	1×10-8Pa.m3/s(He)
17	管路接頭	1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18	供電電源	±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA
19	設定信號	(0-5)VDC  輸入阻抗>1MΩ
20	流量輸出信號	(0-5)VDC 負載輸出電流能力≤3mA
21	電氣接頭	D-SUB15
22	尺寸 (mm)	113（寬）×121（）×32（厚）

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