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（1）流量范圍： 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~1, 2, 3, 5,10，20，30 50 100 ..1000SLM
（2）準(zhǔn)確度（%F·s）： ±1 % F.S（20，30SLM ±2 % F.S）
（3）線性（%F·s）： ±(0.5~1) % F.S
（4）重復(fù)精度（%F·s）： ±0.2 %F.S
（5）響應(yīng)時間(sec) 電特性： <10
氣特性： <1~4
（6）工作壓差范圍(MPa)： 0.05~0.3
（7）耐壓(MPa)： 10
（8）工作環(huán)境溫度（℃）： 5~45℃
（9）輸入輸出信號電壓：0~+5.00V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
（10）電源：+15V±5% 50mA；-15V±5% 200mA
（11）調(diào)節(jié)閥常閉電磁調(diào)節(jié)閥
（12）流量控制范圍：2~F.S
（13）溫度系數(shù)：<0.1%F.S/℃
（14）漏率：<1*10-7 Pa*m3/s(He)
（15）外形尺寸（mm） 125×32×105
（16）重量（kg） 1.0

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：李先生

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