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價(jià)格:電議
所在地:上海
型號(hào):PE-100
更新時(shí)間:2024-04-16
瀏覽次數(shù):1544
公司地址:上海國(guó)權(quán)路525號(hào)
孔昭蘋(píng)(先生)
上海昭沅儀器設(shè)備有限公司專(zhuān)業(yè)致力于銷(xiāo)售各種高端科研儀器,代理世界一流公司的表面測(cè)試及表面處理等產(chǎn)品,公司擁有一批經(jīng)驗(yàn)豐富的銷(xiāo)售人員和技術(shù)人員組成,著重為各高校,研究所等單位提供集產(chǎn)品、應(yīng)用和服務(wù)于一體的整體解決方案!
PE-100實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
等離子表面處理機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備,它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性高的氣體等離子體,氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗,在短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物就被外接真空泵徹底抽走,其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì),所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,也能對(duì)樣品進(jìn)行消毒和殺菌。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。小型等離子清洗機(jī)以體積小、成本低、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場(chǎng)合。
![]() PE-100參數(shù): 標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)特點(diǎn)
電: 229mm*330mm,均可配三層電,間距76mm
等離子發(fā)生器功率:300W,100 KHz (連續(xù)可調(diào))
質(zhì)量流量控制器: O-50cc (連續(xù)可調(diào))
Pirini真空計(jì):0-1Torr
控制器:基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng)
真空泵:8CFM氧氣
耐用鋁合金真空腔體
可選配置 等離子發(fā)生器功率和頻率:300W ,13.56 MHz
過(guò)程溫度控制
自定義電配置
RIE(反應(yīng)離子電)配置
靜電屏蔽
系統(tǒng)規(guī)格 等離子控制臺(tái):432mm* 711mm*762mm 重量:73Kg
真空泵:152mm*457mm*229mm 重量:31Kg
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Plasma Etch, Inc 公司介紹
Plasma Etch公司成立于1980年,致力于提供電子行業(yè)用的等離子設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。通過(guò)幾十年的發(fā)展,公司發(fā)展成為提供等離子設(shè)備方面的,可為客戶提供專(zhuān)業(yè)的產(chǎn)品和解決方案,先后為眾多知名企業(yè)提供等離子處理設(shè)備,如美國(guó)宇航局NASA, 美國(guó)波音Boeing,的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國(guó)霍尼韋爾Honeywell,美國(guó)摩托羅拉Moto, 德國(guó)拜耳Bayer,軍用飛機(jī)的領(lǐng)軍企業(yè)美國(guó)洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
Plasma Etch擁有多項(xiàng)發(fā)明,在開(kāi)發(fā)和制造等離子設(shè)備方面有許多突破性創(chuàng)新,公司擁有等離子體技術(shù)和制造技術(shù)領(lǐng)域里的技術(shù)。這些的產(chǎn)品線是公司獨(dú)有的,生產(chǎn)的等離子設(shè)備是業(yè)界公認(rèn)的集清洗速度、完整均勻性、安全可靠性為一體的等離子處理設(shè)備。專(zhuān)業(yè)溫控技術(shù)
在等離子體處理過(guò)程中,溫度是確保均勻性、有效性的一個(gè)重要參數(shù)。Plasma Etch生產(chǎn)的等離子設(shè)備具有可直接調(diào)節(jié)電溫度的。通過(guò)電腦程序的自動(dòng)控制可保證整個(gè)等離子處理過(guò)程中溫度的穩(wěn)定性。這種技術(shù)是成熟且高度可靠的,并可由操作者操作控制。
操作者可在系統(tǒng)控制范圍內(nèi)設(shè)置任何溫度并自動(dòng)保持該溫度,可在溫度范圍內(nèi)設(shè)置成zui高溫度來(lái)處理任何材料和基底,從而可以以快的速度處理樣品。無(wú)需預(yù)熱或者預(yù)啟動(dòng)等離子設(shè)備就可以間歇的處理樣品或者不斷的重復(fù)處理過(guò)程。
靜電屏蔽技術(shù)
我們與許多行業(yè)進(jìn)行合作并進(jìn)行大量的研究,許多公司采用我們具有和特點(diǎn)的真空腔,真空腔采用航空級(jí)鋁合金材料,具有非常好的耐用性。研究表明,采用鋁合金作為腔體可以微調(diào)每個(gè)等離子處理過(guò)程直到的均勻性。等離子處理過(guò)程控制不恰當(dāng)?shù)脑挄?huì)導(dǎo)致對(duì)樣品的損壞,均勻性欠佳導(dǎo)致某些地方燒焦、彎曲或者損壞樣品,對(duì)此我們改進(jìn)了設(shè)計(jì)。采用我們的靜電屏蔽技術(shù)就可以使得等離子體且均勻在電表面穿流而過(guò),這一技術(shù)大大降低了等離子處理過(guò)程中對(duì)樣品的損傷。該電磁屏蔽技術(shù)是Plasma Etch獨(dú)有的。
系統(tǒng)控制軟件
Plasma Etch生產(chǎn)的等離子設(shè)備和控制軟件的接口都是獨(dú)特的,軟件可以監(jiān)控和自動(dòng)控制處理進(jìn)程,如下:
1.創(chuàng)建等離子處理工藝流程
2.監(jiān)控和記錄處理數(shù)據(jù)
3.設(shè)置數(shù)據(jù)警報(bào)點(diǎn)
4.存儲(chǔ)過(guò)程數(shù)據(jù)
5.實(shí)時(shí)自動(dòng)監(jiān)測(cè)處理工藝
6.創(chuàng)建特定樣品的處理工藝流程
7.制定連續(xù)的處理任務(wù)
通過(guò)使用該控制軟件,可以的控制等離子處理過(guò)程的每一個(gè)環(huán)節(jié),并能夠從程序中刪除失誤操作。
更快地刻蝕速度
Plasma Etch的等離子設(shè)備刻蝕速度是其他等離子設(shè)備的3倍以上。獨(dú)特的設(shè)計(jì)和,如溫控技術(shù)和靜電屏蔽的結(jié)合使我們能夠在等離子體處理上提供的質(zhì)量與速度。
應(yīng)用領(lǐng)域
目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于:等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理,在真空電子、LED、太陽(yáng)能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。