>> 產品特點 

   卷材等離子處理系統,觸摸電腦+PLC多步流程全自動控制,全電路檢測,用于PTFE/PI薄膜、FPC柔性電路板、電池隔膜等卷筒材料清洗、刻蝕、活化、接枝處理,可選擇中頻、射頻、微波等離子處理模式。
>> 技術參數

 ◆ 外形尺寸(不包括報警燈) 

1903(W)×980(D)×2075(H)mm
 ◆ 倉體結構(鋁，約800升)
600(W)×840(D)×800(H)mm
 ◆ 處理材料 

材料直徑：zui大400mm ，材料寬度：100mm
 ◆ 等離子發生器(美國MKS) 

頻率13.56MHZ,功率0-5000W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作
 ◆ 控制系統
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) x2臺（前級泵可選配愛德華干泵）

英國愛德華羅茨泵  EH1000(280L/S)        
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康真空計、傳感器
 ◆ 充氣系統
美國MKS電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件