在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實(shí)現(xiàn)工作的，加速度是個(gè)空間矢量，一方面，要準(zhǔn)確了解物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，必須測得其三個(gè)坐標(biāo)軸上的分量；另一方面，在預(yù)先不知道物體運(yùn)動(dòng)方向的場合下，只有應(yīng)用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實(shí)現(xiàn)雙軸正負(fù)90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。

Tailored for zero-to-medium frequency applications, the Dytran model 7503D1 has a low end frequency response of 0 Hz, and an upper frequency range of 400 Hz. This module contains hermetically sealed MEMS capacitive sensing elements, a custom integrated circuit amplifier and low noise electronics, housed in a lightweight titanium, with 9-pin 5/16-32 radial connector and easy mounting via two #8 or M4 screws.

目前的三軸加速度傳感器大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產(chǎn)生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過相應(yīng)的放大和濾波電路進(jìn)行采集。這個(gè)和普通的加速度傳感器是基于同樣的一個(gè)原理，所以在一定的技術(shù)上三個(gè)單軸就可以變成一個(gè)三軸。對于多數(shù)的傳感器應(yīng)用來看，兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿足多數(shù)應(yīng)用。但是有些方面的應(yīng)用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設(shè)備，貴重資產(chǎn)監(jiān)測，碰撞監(jiān)測，測量建筑物振動(dòng),風(fēng)機(jī),風(fēng)力渦輪機(jī)和其他敏感的大型結(jié)構(gòu)振動(dòng)。

美國DT 7503D1三軸可變電容加速度傳感器
特性

1. 2,000 mV/g sensitivity

2. 2g range

3. 0 to 400 Hz frequency range (3dB)

4. 9-pin 5/16-32 radial connector

5. Mounting via two #8 or M4 screws

6. 38 grams

7. Titanium

8. Hermetic

9. Case isolated

10. Differential output

11. Operates from +9 to +36 VDC

12. Triaxial

13. DC response

加速度傳感器，包括由硅膜片、上蓋、下蓋，膜片處于上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電和引線分布在膜片上，并采用壓焊工藝引出導(dǎo)線；工業(yè)現(xiàn)場測振傳感器，主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利于壓電敏感元件的壓電效應(yīng)得到與振動(dòng)或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業(yè)現(xiàn)場典型采用IEPE型加速度傳感器，及內(nèi)置IC電路壓電加速度傳感器，傳感器輸出與振動(dòng)量正正比的電壓信號。

應(yīng)用

1. Airbag testing

2. Crash testing

3. Robotics

4. Seismic monitoring

5. Tilt measurement
美國DT 7503D1三軸可變電容加速度傳感器

加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設(shè)備。加速力就是當(dāng)物體在加速過程中作用在物體上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是個(gè)常量。加速度計(jì)有兩種：一種是角加速度計(jì)，是由陀螺儀（角速度傳感器）改進(jìn)的。另一種就是線加速度計(jì)。

參數(shù)

Weight, Max 1.3 oz 38 grams

Material Titanium Alloy Titanium Alloy

Sensing Technology MEMS MEMS

Input Range ±2 g ±19.6 m/s2

Frequency Response (3dB), Nom 0 - 400 Hz 0 - 400 Hz Notes:

Sensitivity Differential, ±5% [1] 2000 mV/g 204 mV/m/s2 [1] Single ended sensitivity is half of values shown. (Ref. at 100 Hz)

Output Noise, Differential ,Typ 5 μ g rms/√ Hz 49 μ m/s2 /√ Hz [2] -90% to +90% of Full Scale.

Non-Linearity, Max [2] 0.5 % F.S 0.5 % F.S

Cross Axis Sensitivity, Max 3 % 3 %

Maximum Mechanical Shock (0.1 ms) ±2000 gpk ±19620 m/s2 peak

Bias Temperature Shift ,Max [3] 167 (ppm of span)/°F 300 (ppm of span)/°C

Bias Calibration Error, Max 4 % of span 4 % of span

Operating Temperature Range -40 to +250 °F -40 to +121 °C

Seal Hermetic Hermetic

Output Common Mode Voltage, Typ 2.5 VDC 2.5 VDC

Output Impedance <100 Ω <100 Ω

Operating Voltage +9 to +36 VDC +9 to +36 VDC

Operating Current (AOP &AON open), Max 35 mA Dc 35 mA Dc

Power Supply Rejection Ratio >65 dB >65 dB

并把一維或二維納米材料連接成測量電橋；所述的信號處理電路包括：整流穩(wěn)壓電路、載波振蕩器、測量電橋和交流載波放大器。加速度(力)信號作用在質(zhì)量塊上，使膜片發(fā)生應(yīng)變，利用膜片上的納米材料測出應(yīng)變，利用全橋檢測方法，將材料應(yīng)變轉(zhuǎn)化為電信號，再通過一系列的信號處理過程，從而得到被測加速度信號的數(shù)值。根據(jù)本發(fā)明的這種微型膜片式加速度傳感器具有很高的靈敏度，并可進(jìn)行批量生產(chǎn)。